微量氧分析仪使用的范围非常广泛：钢铁、冶金、热电、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨等行业均能使用到，如空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自动分析、电子行业保护性气体中氧含量分析(氨气中微量氧分析)，磁性材料等高温烧结炉的保护性气体中氧含量分析、玻璃、建材行业中氧含量分析及各种行业中氧含量分析。
微量氧分析仪是一种精密的气体分析仪表，不同行业实际使用过程中，工况差距非常大。不同工况也对测量结果有着一定的影响，使用过程中需要注意以下的事项，来避免因工况和认为使用原因导致的测量结果不准确。
一、分析仪取样管路的密闭性：
在实际测量中，样气压力一般都为正压，但样气中的氧是微量级的，根据法拉利定律，氧的分压与其体积含量成正比，环境空气中氧含量约21%，与以PPM计算浓度的样气的氧分压相差一万倍左右，因而气样中微量氢的分压远低于大气中的氧分压，当出现泄漏时，大气中的氧便会从泄漏部位迅速扩散进来。微量氧分析仪检测的就是ppm级别的氧含量，因此配套管线必须严格密封，非常微小的管线泄漏(管线连接点，接头等)都会导致环
境空气中的氧扩散进来，造成实际测量数值偏高。其次，尽量减少管线长度和管线接头数量，且同时保证接头及阀门气密性良好，管线连接完毕后，应做气密性检查。气密性检查的要求：0.25MPAm测试压力下，30分钟，压降不大于0.01MPA。最后就是使用前执行检漏，初次启用前必须严格检漏。仪器只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。
二、微量氧分析仪取样管材质的选择
管线材质以铜管或不锈钢管为佳，管线内壁要求光滑，次选聚四氟乙烯管。切勿使用橡胶管、乳胶管等管线，这些材质的管线气密性和抗渗透性比不锈钢管差，在微量氧测量的标准下会导致误差较大。管线一般选用6mm或1/4IN或者选用3mm或1/8IN，总之，优先选不锈钢管或铜管，保证内壁光滑洁净。总之对于微量级(1PPMV)氧分析，优先选内壁抛光的不锈钢管铜管。
三、取样分析的时候考虑温度的因素
即使在常温下也由可能出现凝露，特别是在大气压骤降时，极有可能出现温度降低而出现冷凝现象，因氧溶于水的性质，出现凝露时也会影响测量精度。因此为防止样气中的凝露，造成对微量氧的溶解吸收，应根据现场工况情况对取样管线采取绝热保温或伴热保温措施。检测液氮中的微量氧时，尤其要注意加温措施，不然，由于氧沸点低于氮沸点13度，样品气不均匀气化，会使测量值严重偏低。
四、取样点离分析仪的距离越近越好
微量氧分析仪的测量位应尽可能与测量点接近，以避免过长的管线和过多的不确定因素，影响测量数据的可靠性。
五、样气取样过程要充分洁净
在使用仪器时，先要进行吹扫，建议使用高纯氮气进行吹扫。切勿使用高氧含量较高的气体进行吹扫，微量氧分析仪的传感器和检测常量氧、高纯氧的传感器不同，氧含量过高会降低微量氧分析仪传感器的寿命。
六、样气中不能含有腐蚀性气体
样气中不能含有油类、固体颗粒物粉尘等，会引起传感器渗透膜阻塞。样气也不能有硫化物、磷化物、酸性气体、碱性气体等腐蚀性成分存在。当样气中存在这杂质导致微量氧分析仪传感器损坏的气体时，必须经过预处理，达到检测条件后才能进入仪器进行检测。
